別爾格曼著，曹大文等譯：《超聲》，國防工業(yè)出版社，北京，1964。 　W.P.Mason, ed.,Physical Acoustics, Vol.8,Chap.3,Academic Press, New York, 1971.同濟(jì)大學(xué)聲學(xué)研究室編：《超聲工業(yè)測量技術(shù)》，上海人民出版社，上海，1977。

聲干涉儀有變程干涉儀和定程干涉儀兩種基本類型。

聲干涉儀變程干涉儀

變程干涉儀的發(fā)展較早，20世紀(jì)20年代就已出現(xiàn)，適用于流體媒質(zhì)中測量。它主要由輻射壓電晶片(見壓電性)和一塊可移動的剛性反射板組成，兩者嚴(yán)格平行，中間充滿待測流體媒質(zhì)，兩者距離可以精密地調(diào)節(jié)。為了避免溫度、靜壓等因素對聲速的影響，根據(jù)要求的測量準(zhǔn)確度，還須采用恒溫裝置甚至恒壓措施。晶片被激發(fā)后向媒質(zhì)發(fā)射平面超聲波，經(jīng)反射板反射，使得晶片和反射板間發(fā)生聲波的干涉而形成駐波。這時晶片的輻射阻抗隨晶片和反射板間的距離而周期地變化。改變這兩者間的距離時，就可發(fā)現(xiàn)晶片的電參量（電流或端電壓）將隨距離周期性變化，在一系列特定距離上相間出現(xiàn)一系列極大值和極小值。根據(jù)駐波原理，相鄰兩次極大值（或極小值）之間所移動的距離就等于聲波的半個波長。精確測定從某一極大（小）值開始,到達(dá)其后出現(xiàn)n個極大(小)值時反射板所移動的總距離L,就可求得聲波的波長λ=2L/n，再利用精確測定的聲波頻率值 f，就可求得媒質(zhì)的聲速

c=λf=2Lf/n。

因為頻率的測量準(zhǔn)確度可以極高，所以變程干涉儀測量聲速的準(zhǔn)確度主要限于長度測量的準(zhǔn)確度，目前最高約達(dá)10-4～10-5的準(zhǔn)確度。在上述變程干涉儀的基礎(chǔ)上, 曾有過多種改進(jìn)，例如，用一接收晶片代替反射板，并且利用接受晶片輸出電壓的極值來進(jìn)行測量，就是所謂雙晶片干涉儀，適用于測量衰減較大的媒質(zhì)。變程干涉儀不適用于固體媒質(zhì)，因而在20世紀(jì)30年代末期又出現(xiàn)了定程干涉儀。

聲干涉儀定程干涉儀

定程干涉儀把輻射晶片和反射板（或接收晶片）間的距離保持為固定值d,而連續(xù)調(diào)變發(fā)射聲波的頻率。這時可發(fā)現(xiàn)晶片的電參量將在一系列特定頻率上相繼出現(xiàn)極大值和極小值，根據(jù)相鄰兩個共振頻率之差Δf可求得聲速

с=2dΔf。

定程干涉儀測量聲速絕對值的準(zhǔn)確度同樣限于長度的測量準(zhǔn)確度,也僅為10-4～10-5的數(shù)量級。但因d為常數(shù),測量聲速變化的準(zhǔn)確度卻只受頻率測量準(zhǔn)確度的限制，故可大為提高,達(dá)10-7的數(shù)量級。用共振曲線的形狀還可求得媒質(zhì)在頻率f時的聲衰減系數(shù)為α=πf/Qс,式中Q為這時共振曲線的品質(zhì)因素，但測量準(zhǔn)確度也不高。定程干涉儀的原理可用于固體媒質(zhì)，把輻射晶片貼在固體試樣的一個端面，另一端面任其自由或貼上接收晶片就可實現(xiàn)測量，但應(yīng)考慮所貼晶片對共振頻率的貢獻(xiàn)而加以修正，故計算公式將較復(fù)雜。 聲干涉儀

一般的變程干涉儀和定程干涉儀都有聲衰減測量準(zhǔn)確度不高和測量費時的缺點。為了提高聲衰減測量準(zhǔn)確度，出現(xiàn)了所謂脈沖干涉儀，它發(fā)射的是連續(xù)波和脈沖波列的組合，仍用干涉原理測量聲速，同時用脈沖波列的方法來獲得較高準(zhǔn)確度的聲衰減測量。此外，由于近年來電子技術(shù)的發(fā)展，已使許多新設(shè)計的聲干涉儀實現(xiàn)了聲速和聲衰減的自動測量。

它也能用來測量媒質(zhì)中的聲衰減系數(shù)，但準(zhǔn)確度不高。