薄膜沉積。 2100433B

極限真空優(yōu)于5*10^-4Pa;真空室尺寸:Φ600mm球形;抽速:26分鐘達到1×10-3Pa;鈦靶和碳靶各2個，均為Ф100mm;弧電源電流60～150A連續(xù)可調(diào);脈沖負偏壓0～1000V可調(diào)，占空比10%--90%可調(diào);離子源平均引出電流/電壓:10.7mA/76KV;束斑直徑Ф150mm。

在真空電弧重熔過程中，金屬的熔化和凝固過程同時進行，由子在水冷銅結(jié)晶器內(nèi)存在大的溫度梯度，在這種條件下凝固會形成粗大晶體。而在真空凝殼爐熔煉中，金屬的熔化和澆注完全分開進行，由于金屬液面沒有電極的陽極輝點，熱場相對均勻，加之熔池發(fā)生攪動，促使鑄件凝固時長大的晶體前沿形成過冷金屬液，在該處出現(xiàn)補充的結(jié)晶中心，從而可以獲得細晶組織，這是真空凝殼爐較真空電弧爐熔煉的又一優(yōu)點。真空凝殼爐熔煉的鑄件具有較高的機械性能。例如一般真空電弧爐熔煉的MT(Mo 0.5%Ti)合金的延伸率占為1%-2%,而用真空凝殼爐熔煉的同一合金的占為3%~5% 。

高速開關(guān)的電弧電壓決定了故障電流轉(zhuǎn)移的時間，研制的高速開關(guān)斷口采用的是17.5kV真空滅弧室。真空電弧有10kA 以下的擴散型和10kA以上的集聚型兩種形態(tài)。混合型斷路器電弧電流一般只有幾千安，屬于擴散型電弧。對擴散型真空電弧電壓起主導(dǎo)作用的是陰極壓降，而陰極壓降主要由觸頭材料決定。觸頭材料的沸點溫度與熱導(dǎo)率的乘積越大，陰極壓降越高。因此為提高電弧電壓，縮短電流換流時間，可以選取高沸點和熱導(dǎo)率的觸頭材料。除此之外，也可通過外加磁場的方式提高電弧電壓，電弧電壓最高可達數(shù)千伏。

高速開關(guān)采用的是寶光真空滅弧室廠生產(chǎn)的17.5kV/1.250A 的真空滅弧室，觸頭開距為（9±1）mm，運動部分質(zhì)量為1.1kg。當(dāng)電流從4kA增大到10kA時銅鎢觸頭的真空電弧電壓基本在30V左右保持穩(wěn)定，當(dāng)電流下降時電弧電壓有所降低。

1950年美國發(fā)明了第一臺小型(4.5kg)真空電弧凝殼爐。后來各國又出現(xiàn)了電子束凝殼爐、等離子體凝殼爐等，但常用的是真空電弧凝殼爐，簡稱真空凝殼爐 。