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TEGAL421 等離子刻蝕機射頻電源的維 修及調整 TEGAL421 等離子刻蝕機射頻電源的電路圖如下： 各部分電路的作用， DC Power Supply Board 板是一塊電源板提供射頻源 工作所需的各路電源，包括電子管工作的高低壓。 OSICLACTOR Board 板提供 射頻源的激勵信號， Q1是震蕩管，Q4是推動管，Q3,Q2組成脈寬功率調節電路。 V1和 V2是兩個輸出電子管，提供所需的射頻功率。其中 Lv 是低壓變壓器，機 器一通電，該變壓器就被通電。而 BV 是高壓變壓器，只有在需要射頻輸出時才 被通電。 Power Coupler 是入射功率和反射功率檢測模塊。主機背面的電位器 R5 和 R6 用于矯正入射和反射功率的偏差。 Test Port 測試端口用于檢測射頻電 源的工作參數。 射頻電源的調整 射頻電源調整的步驟如下： 1. 關閉交流電源。 2. 移除射頻電源
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針對強流雙潘寧離子源等離子體發生器電源系統的特殊要求,介紹了燈絲電源和弧電源的組成及其作用,并對其主電路設計思路進行了相關的分析。離子源等離子體放電實驗結果表明,該套等離子體電源系統達到了設計指標要求。
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