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為了實現對金剛石砂輪表面形貌的非接觸精密測量,開發了基于干涉原理的金剛石砂輪表面形貌專用測量系統,研究了該系統的測量原理和關鍵技術。根據垂直掃描白光干涉顯微測量原理以及被測對象的特征,提出了適用于砂輪測量的方法,研究了系統的自動掃描范圍、垂直方向的掃描方法、單次測量三維表面的恢復算法和磨粒的識別算法。結合自行設計的夾具搭建了砂輪測量系統,并對多次測量拼接算法進行了實驗分析。實驗結果表明:基于區域重合大小(重合度為30%~50%)的拼接算法獲得的拼接前后重合區域的相關系數均大于0.8,拼接后重合區域的高度差均小于0.4μm。得到的結果顯示所搭建的系統可以恢復砂輪的形貌,其測量范圍和精度滿足砂輪磨粒評定和分析的要求。
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