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更新時間:2025.05.17
商品有機玻璃片微結構的深刻蝕研究

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研究應用O2反應離子刻蝕(RIE)直接深刻蝕商用有機玻璃(PMMA)片,以實現微結構的三維微加工,工藝簡單,加工成本較低,為微器件的高深寬比加工提出了新方法。試樣采用Ni作掩膜,以普通的光刻膠曝光技術和濕法刻蝕法將Ni掩膜圖形化。工作氣壓、刻蝕功率等工藝參數對刻蝕速率影響較大。在刻蝕過程中,掩膜上的金屬粒子會被刻蝕氣體離子轟擊而濺射散落出來,形成微掩膜效應。利用這種RIE技術,在適當的濺射功率及氣壓下,刻蝕速率較快,且獲得了較陡直的微結構圖形,刻蝕深度達120μm。

項目管理的成功方程式

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項目管理的成功方程式——具體包含:1、項目整體管理知識 ,2、項目范圍管理知識,3、項目的時間管理知識,4、項目的成本管理知識,5、項目人力資源管理知識,6、項目的質量管理知識等九方面知識。

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