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機械電子工程原理 實驗報告 雙容型水箱液位與 PID控制綜合實驗 組員 :XX XXXX年 X月 1 實驗一 壓力傳感器特性測試及標定測量實驗 一、實驗目的 1、 了解本實驗裝置的結構與組成。 2、 掌握壓力傳感器的實驗原理及方法，對壓力傳感器進行標定。 二、實驗設備 1、 德普施雙容水箱一臺。 2、 PC 機及 DRLINK4.5 軟件。 三、實驗原理 圖 1-1 傳感器裝置圖 本實驗傳感器如圖 1-1所示，使用二個擴散硅壓阻式壓力傳感器，分別用來測量上水箱 水柱壓力，下水箱水柱壓力。 擴散硅壓阻式壓力傳感器實質是硅杯壓阻傳感器。它以 N 型單晶硅膜片作敏感元件， 通過擴散雜質使其形成 4個 P型電阻，形成電橋。在壓力作用下根據半導體的壓阻效應，基 片產生應力，電阻條的電阻率產生很大變化，引起電阻的變化，使電橋有相應輸出。經過后 級電路的放大處理之后輸出 0~5V 之間的電信號。 2
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