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筑神-建筑下載: http://www.zhushen.com.cn QSY，DSY 透明石英玻璃儀器 本標準主要用于半導體工業采用的透明石英玻璃儀器。其他冶金、化工、科學研 究等所用透明石英玻璃儀器之技術要求均可參考本標準執行。 透明石英玻璃儀器有 QSY 透明石英玻璃儀器和 DSY 透明石英玻璃儀器兩種。 技術要求 1．透明石英玻璃儀器的化學成分，熱穩定性，抗結晶性和高溫變色性，均不低 于同類管材的要求。 2．透明石英玻璃儀器在加工過程中，應盡量消除應力，必須保證在常溫下逐步 升溫至 1100℃，在爐內自然冷卻后無炸裂。 3．兩種透明石英玻璃儀器均按加工部位的外觀指標分為二級（見下表）。 項 目 一 級 二級 加工過程中混入（毫米） 0.1￣0.3 0.3￣1.0 色 斑 允許數量（個/100 厘米[2]） ≤2 ≤2 吊管接口應做到軸向平行
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筑神-建筑下載: http://www.zhushen.com.cn QSY，DSY 透明石英玻璃儀器 本標準主要用于半導體工業采用的透明石英玻璃儀器。其他冶金、化工、科學研 究等所用透明石英玻璃儀器之技術要求均可參考本標準執行。 透明石英玻璃儀器有 QSY 透明石英玻璃儀器和 DSY 透明石英玻璃儀器兩種。 技術要求 1．透明石英玻璃儀器的化學成分，熱穩定性，抗結晶性和高溫變色性，均不低 于同類管材的要求。 2．透明石英玻璃儀器在加工過程中，應盡量消除應力，必須保證在常溫下逐步 升溫至 1100℃，在爐內自然冷卻后無炸裂。 3．兩種透明石英玻璃儀器均按加工部位的外觀指標分為二級（見下表）。 項 目 一 級 二級 加工過程中混入（毫米） 0.1￣0.3 0.3￣1.0 色 斑 允許數量（個/100 厘米[2]） ≤2 ≤2 吊管接口應做到軸向平行
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