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單級旋片泵結構與工作原理 時間 :2008-09-07 來源 :真空技術網整理 編輯 :真空技術網 單級旋片泵只有一個工作室。泵主要由定子、旋片、轉子組成。在泵腔內偏心地裝 有轉子，轉子槽中裝有兩塊旋片，由于彈簧彈力作用而緊貼于缸壁 (轉動后還有旋片離 心力 )。轉子和旋片將定子腔分成吸氣和排氣兩部分。 圖 5：單級旋片式真空泵工作原理圖 當轉子在定子腔內旋轉時周期性地將進氣口方面容積逐漸擴大而吸入氣體， 同時逐漸 縮小排氣口一側的容積將已吸入的氣體壓縮并從排氣閥排出。 排氣閥浸在油里以防止大氣流入泵中。 泵油通過油孔及排氣閥進入泵腔， 使泵腔內所 有的運動表面被油覆蓋，形成了吸氣腔與排氣腔之間的密封。 雙級旋片泵的結構與工作原理 時間 :2008-09-07 來源 :真空技術網整理 編輯 :真空技術網 單級旋片泵 一般極限壓力只能達到 1.3Pa( 個別可達 0.1Pa)，為什么極限
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