探針測試。

2.1 探針臺（針座，探針等），1套 1) 手動探針臺，寬大的測試空間，能對晶圓、芯片及單器件進行IV/CV及S參數測試 2) 載片臺直徑：6英寸，平坦度：±5um 3) 載片臺整體采用氣浮移動方式，快速移動范圍：185×235 mm，可單手控制自由移動，包含鎖死裝置，千分尺精細調節方式，調節范圍：25×25mm 4) 載片臺快速旋轉角度：360°，精細調節范圍：±5° 5) 載片臺具備兩個獨立的附加載臺，陶瓷吸波材料制作，可用于吸附射頻校準片 6) 載片臺采用完全獨立的真空孔吸附，真空孔直徑0.5um；可分區吸附樣品，并具備各分區獨立真空控制開關 7) 平臺包含三擋抬升方式，包括接觸位（0）、分離位（300μm）和裝載位（3mm），且有相應阻尼緩沖設計 8) 平臺高度可調整范圍25mm；平臺大小可同時容納10個直流針座或者4個射頻針座。 9) 搭配筒式顯微鏡，可后仰90度抬頭，增大平臺可操作空間 10) 顯微鏡系統的最大放大倍率400倍，可連續變焦 11) 顯微鏡XY方向移動范圍：50 x 50 mm 12) 顯示器尺寸：21吋 13) 4套射頻針座，精確度±2μm，重復性±2μm。

探針臺分類

探針臺從操作上來區分有：手動，半自動，全自動

從功能上來區分有：溫控探針臺，真空探針臺（超低溫探針臺），RF探針臺，LCD平板探針臺，霍爾效應探針臺，表面電阻率探針臺

經濟手動型

根據客戶需求定制

chuck尺寸：4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可選）

X-Y移動行程：4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可選）

chuck Z軸方向升降10mm（選項）方便探針與樣品快速分離

顯微鏡：金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡（可選）

顯微鏡移動方式：立柱環繞型、移動平臺型、龍門結構型（可選）

探針座：有0.7um、2um、10um精度可選，磁性吸附帶磁力開關

可搭配Probe card測試

適用領域：晶圓廠、研究所、高校等

半自動型

chuck尺寸800mm/600mm

X,Y電動移動行程200mm/150mm

chuck粗調升降9mm，微調升降16mm

可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實體顯微鏡

針座擺放個數6～8顆

顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2"

可搭配Probe card測試

適用領域：8寸/6寸Wafer、IC測試之產品

電動型

chuck尺寸1200mm，平坦度土1u（不銹鋼或鍍金）

X,Y電動移動行程300mm x 300mm

chuck粗調升降9mm，微調升降16mm，微調精度土1u

可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實體顯微鏡

針座擺放個數8～12顆

顯微鏡X-Y-Z移動范圍2“x2”x2“

材質：花崗巖臺面 不銹鋼

可搭配Probe card測試

適用領域：12寸Wafer、IC測試之產品

LCD半自動探針臺

機械手臂取放片

電動、鍵入坐標尋位置

量測尺寸（mm）：1800x1600、1300x1200、1200x1000

LCD手動探針臺

白熾燈或者LED整面背光

TFT元件特性、Driver IC量測分析

機臺尺寸（mm）：800x600、500x400、300x300

PCB量測探針臺（TDR）

高頻測試探頭GSG / GS / SG

頻率10GHZ / 40GHZ / 50GHZ / 67GHZ

機臺尺寸同LCD 探針臺

太陽能產業探針臺（Solar Cell 量測系統）

量測軟體:

I-V /C-V Curve, Isc, Voc,

Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor,

Power Convert Efficiency

采用KEITHLEY Source Meter

可加配任意品牌之太陽光模擬器