噪音水平：ICON Head<30 pm RMS, FastScan Head<40 pm RMS掃描范圍： ICON Head 90μm×90μm×10μm, FastScan Head 35μm×35μm×3μm附加功能1.AFM形貌成像（包含接觸，輕敲，峰值力輕敲模式）2.MFM磁力顯微鏡3.EFM靜電力顯微鏡4.KPFM表面電勢顯微鏡5.LFM摩擦力顯微鏡6.TUNA遂穿電流模式7.PFM壓電響應顯微鏡（含附加高壓模塊）8.STM掃描隧道顯微鏡9.H/C MODEL升降溫模塊10.PF-QNM定量納米力學11.RAMP力曲線12.FORCE-VOLUME力曲線陣列13.液下成像14.EC-AFM電化學模塊（包含升溫模塊）15.SECM掃描電化學顯微鏡16.Photoconductive AFM光電流檢測17.納米刻蝕功能。

全國范圍內，掃描探針顯微鏡的附加功能配備最全的設備之一，包含形貌功能，磁學，電學，力學，電化學等，其中的掃描電化學功能，是目前唯一對外開的實驗室。

用于掃描探針顯微鏡的控制輸出及數據采集分析。

多功能掃描儀是由良田科技自主研發、生產的一種低碳、環保的新型辦公用品，它使用超便捷性結構設計，通過USB供電，采用CMOS成像原理，1秒鐘就能將我們的紙質文檔實現即時的錄入，通過OCR識別能快速將圖像轉換成word、Excel文件，快速保存，修改，管理各種文件。多功能掃描儀具有1秒高速掃描、可拍攝紙張文件和三維實物、快速OCR文字識別、定時拍攝、畫面錄像、PDF導出、聯機打印、網絡傳真、USB即插即用、便攜折疊式結構等獨特功能。

探針臺分類

探針臺從操作上來區分有：手動，半自動，全自動

從功能上來區分有：溫控探針臺，真空探針臺（超低溫探針臺），RF探針臺，LCD平板探針臺，霍爾效應探針臺，表面電阻率探針臺

經濟手動型

根據客戶需求定制

chuck尺寸：4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可選）

X-Y移動行程：4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可選）

chuck Z軸方向升降10mm（選項）方便探針與樣品快速分離

顯微鏡：金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡（可選）

顯微鏡移動方式：立柱環繞型、移動平臺型、龍門結構型（可選）

探針座：有0.7um、2um、10um精度可選，磁性吸附帶磁力開關

可搭配Probe card測試

適用領域：晶圓廠、研究所、高校等

半自動型

chuck尺寸800mm/600mm

X,Y電動移動行程200mm/150mm

chuck粗調升降9mm，微調升降16mm

可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實體顯微鏡

針座擺放個數6～8顆

顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2"

可搭配Probe card測試

適用領域：8寸/6寸Wafer、IC測試之產品

電動型

chuck尺寸1200mm，平坦度土1u（不銹鋼或鍍金）

X,Y電動移動行程300mm x 300mm

chuck粗調升降9mm，微調升降16mm，微調精度土1u

可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實體顯微鏡

針座擺放個數8～12顆

顯微鏡X-Y-Z移動范圍2“x2”x2“

材質：花崗巖臺面 不銹鋼

可搭配Probe card測試

適用領域：12寸Wafer、IC測試之產品

LCD半自動探針臺

機械手臂取放片

電動、鍵入坐標尋位置

量測尺寸（mm）：1800x1600、1300x1200、1200x1000

LCD手動探針臺

白熾燈或者LED整面背光

TFT元件特性、Driver IC量測分析

機臺尺寸（mm）：800x600、500x400、300x300

PCB量測探針臺（TDR）

高頻測試探頭GSG / GS / SG

頻率10GHZ / 40GHZ / 50GHZ / 67GHZ

機臺尺寸同LCD 探針臺

太陽能產業探針臺（Solar Cell 量測系統）

量測軟體:

I-V /C-V Curve, Isc, Voc,

Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor,

Power Convert Efficiency

采用KEITHLEY Source Meter

可加配任意品牌之太陽光模擬器