靜電放電對器件的危害是不可忽視的，一些統計資料表明，全世界每天電子產品因靜電損害造成的經濟可能達到百萬美元以上，一年約50億美元。一個具有代表性的大型cmos器件制造廠產品出廠后頭7個月因質量問題而退回器件中有28%與靜電損害有關，占故障率之首位。所以我們要對靜電敏感器件做好防靜電工作。

一，靜電敏感器件防靜電的基本原則

自然界的所有物質都是由原子組合而成，原子中的質子（正電荷）與電子（負電荷）存在于我們生活中每個角落，可以這樣說：靜電是無處不有，無時不在，時時刻刻存在在我們生活中的一切周圍。在靜電防護過程中打算將靜電完全消除是困難的，但是我們可以采取防護措施，將靜電的產生與積聚控制在最小的限度之內，經過科學家和工程技術人員多年的研究和實踐，結果表明得出兩個防護靜電危害的基本原則：① 在靜電安全區域內使用或安裝靜電敏感元件。② 用靜電屏蔽容器運送靜電敏感元件。

二，靜電敏感器件防靜電性能的檢測周期及注意事項

防靜電臺墊、地板、工鞋、工衣、周轉容器等應少每月檢測一次。防靜電手腕帶、風槍、風機、儀器等應每天檢測一次。檢測時，須考慮受檢場所的溫度、濕度等因素。2100433B

現介紹國家軍用標準電子產品防靜電放電控制大綱的分級方法。靜電敏感度介于0～1990v的元器件為1級；介于2000～3999v的元器件為2級；介于4000～15999v的為3級；靜電敏感度為16000v或16000v以上的元器件、組件和設備被認為是非靜電敏感產品。按元器件類型的ssd（靜電敏感度）的分級表如下。

由于科技時代的需要，小體積、多功能、快速度的集成電路已是電子工業的基本要求。增厚氧化膜，提高其耐壓性，顯然是行不通的，因此在器件的集成度越來越高的趨勢下，通常將器件氧化膜的膜厚做得越來越薄使其尺寸減少，器件的耐壓也隨之降低。半導體器件，特別是ic，根據其種類不同受靜電破壞的程度也不一樣，弱至100v的靜電也會造成破壞，具體數據見表一。

集成電路元器件的線路縮小，耐壓降低，線路面積減小，使得器件耐靜電沖擊能力的減弱，靜電電場（Static Electric Field）和靜電電流（ESDcurrent）成為這些高密度元器件的致命殺手。同時大量的塑料制品等高絕緣材料的普遍應用，導致產生靜電的機會大增。日常生活中如走動，空氣流動，搬運等都能產生靜電。人們一般認為只有CMOS類的晶片才對靜電敏感，實際上，集成度高的元器件電路都很敏感。

（1） 靜電對電子元件的影響

1）靜電吸附灰塵，改變線路間的阻抗，影響產品的功能與壽命。

靜電感應與靜電放電(ESD)

2）因電場或電流破壞元件的絕緣或導體，使元件不能工作（完全破壞）。

3）因瞬間的電場或電流產生的熱，元件受傷，仍能工作，壽命受損。

（2）靜電損傷的特點：

1）隱蔽性人體不能直接感知靜電，除非發生靜電放電，但發生靜電放電，人體也不一定能有電擊的感覺。這是因為人體感知的靜電放電電壓為2-3KV。

2）潛伏性有些電子元器件受到靜電損傷后性能沒有明顯的下降，但多次累加放電會給器件造成內傷而形成隱患，而且增加了器件對靜電的敏感性。已產生的問題并無任何方法可治愈。

3）隨機性電子元件什么情況下會遭受到靜電破壞呢？可以這么說，從一個元件生產后一直到它損壞以前所有的過程都受到靜電的威脅，而這些靜電的產生也具有隨機性。由于靜電的產生和放電都是瞬間發生的，及難預測和防護。

4）復雜性靜電放電損傷分板工作，因電子產品的精細，微小的結構特點而費時、費事、費錢，要求較復雜的技術往往需要使用掃描電鏡等精密儀器，即使如此有些靜電損傷現象也 難以與其他原因造成的損傷加以區別，使人誤把靜電損傷失效當作其它失效，這是對靜電放電損害未充分認識之前，常常歸咎于早期失效或情況不明的失效 ，從而不自覺的掩蓋了失效的真正原因。

5）嚴重性ESD問題表面上看來只影響了制成品的用家，但實際上亦影響了各層次的制造商，如：保用費、維修及公司的聲譽等等。