MEMS精密激光加工設(shè)備主要功能
激光打孔，可加工盲孔和通孔，可加工硅、玻璃、石英玻璃等材料。
MEMS精密激光加工設(shè)備造價信息
孔徑精度優(yōu)于±10um；定位精度優(yōu)于5um。
MEMS精密激光加工設(shè)備主要功能常見問題
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DEH系統(tǒng)主要功能: 汽輪機(jī)轉(zhuǎn)速控制；自動同期控制；負(fù)荷控制；參與一次調(diào)頻；機(jī)、爐協(xié)調(diào)控制；快速減負(fù)荷；主汽壓控制；單閥控制、多閥解耦控制；閥門試驗；輪機(jī)程控啟動；OPC控制；甩負(fù)荷及失磁工況控制；...
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一、 LED 的結(jié)構(gòu)及發(fā)光原理50 年前人們已經(jīng)了解半導(dǎo)體材料可產(chǎn)生光線的基本知識，第一個商用二極管產(chǎn)生于 1960 年。 LED 是英文 light emitting diode （發(fā)光二極管）的縮...
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⒈保水.保水劑不溶于水，但能吸收相當(dāng)自身重量成百倍的水.保水劑可有效抑制水分蒸發(fā).土壤中滲入保水劑后，在很大程度上抑制了水分蒸發(fā)，提高了土壤飽和含水量，降低了土壤的飽和導(dǎo)水率，從而減緩了土壤釋放水的速...
MEMS精密激光加工設(shè)備主要功能文獻(xiàn)
三相程控精密測試電源主要功能
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頁數(shù)： 3頁
評分： 4.6
www.whhzdl.com HZ3050 三相程控精密測試電源主要功能 HZ3050 三相程控精密測試電源主要功能 1. 交流標(biāo)準(zhǔn)源輸出 HT3050 可以輸出三相工頻（ 40Hz ～65Hz ）頻率、相位及幅度可調(diào)高精度電壓電流， 方便電力工作者研發(fā)、檢定。 2. 變送器檢定 用于電壓、電流、功率檢定。 3. 通訊功能 用于和 PC 以及其他的主控模塊通訊，通訊協(xié)議為 《HT3050 程控電源接口協(xié)議》。 4. 電能校驗功能 (選項 ) 對于配有 IO 擴(kuò)展的標(biāo)準(zhǔn)源，可以用來校驗電能脈沖輸入。 5. 分相頻率輸出 本裝置的 A、B相頻率和 C 相頻率可以獨立輸出， 方便需要兩個頻率的用戶， 比如電力 保護(hù)中的檢同期裝置。 6. 用戶自定義功能 用戶可以自定義各種函數(shù)輸出，但要求函數(shù)是不含有直流分量的。 7. 二次開發(fā) 用戶可以根據(jù)《 HT3050 程控電源接口協(xié)議》通過通訊口開發(fā)出自
道閘主要功能
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頁數(shù)： 1頁
評分： 4.5
道閘 主要功能： 功能一，手動按鈕可作 ‘升’‘降’及‘停’操作、無線遙控可作 ‘升’‘降’‘?！皩κ謩影粹o的 ‘加鎖’‘解鎖 ’操作 ; 功能二，停電自動解鎖，停電后可手動抬桿 ; 功能三，具有便于維護(hù)與調(diào)試的 ‘自檢模式 ’; 道閘 道閘又稱擋車器，最初從國外引進(jìn)，英文名叫 Barrier Gate ，是專門用于道路上限 制機(jī)動車行駛的通道出入口管理設(shè)備 ，現(xiàn)廣泛應(yīng)用于公路收費站、 停車場系統(tǒng) 管理車 輛通道，用于管理車輛的出入。電動道閘可單獨通過無線遙控實現(xiàn)起落桿，也可以通過 停車場管理系統(tǒng) （即 IC 刷卡管理系統(tǒng)）實行自動管理狀態(tài)，入場取卡放行車輛，出場 時，收取 停車費 后自動放行車輛。
我們今天所知道的MEMS開關(guān)的概念是在20世紀(jì)80年代末期90年代初期被提出的。第一份公開發(fā)表的論文只是提出了MEMS器件的概念，同時指出了器件設(shè)計面臨的一些挑戰(zhàn)以及它的潛在應(yīng)用(Koester et al. 1996)。尤其是MEMS開關(guān)對射頻工程師具有巨大的吸引力，它們的潛力包括減少芯片的總面積、功耗和器件成本。一個RF MEMS開關(guān)的照片如圖1中所示。MEMS器件最初被唯一的制作在硅襯底上是因為集成電路也是被制造在硅上。硅材料的屬性和硅上的制造工藝已經(jīng)為我們所熟知。
在MEMS開關(guān)發(fā)明之前，高頻轉(zhuǎn)換都是由發(fā)明于20世紀(jì)70年代的機(jī)械式或者干簧繼電器來完成的。最近十年，MEMS技術(shù)取得了飛速發(fā)展，出現(xiàn)了一大批新型傳感器、微機(jī)械、微結(jié)構(gòu)和控制元件，有些器件和結(jié)構(gòu)已實現(xiàn)了商業(yè)化，而有些即將被推入市場。MEMS技術(shù)提高了轉(zhuǎn)換效率，最早的MEMS開關(guān)是Petersen于1979年研制的0.35 μm厚、金屬包覆的靜電懸臂梁開關(guān)。但由于制作工藝的限制，此后的十年里MEMS開關(guān)沒有取得太大的進(jìn)展。直到20世紀(jì)90年代，MEMS開關(guān)才獲得了巨大發(fā)展。1991年，Larson制作了旋轉(zhuǎn)傳輸線式開關(guān)。1995年，Yao采用表面微加工工藝制作懸臂梁開關(guān)。1996年，Goldsmith研制出低閾值電壓的膜開關(guān)。為了降低開關(guān)的閾值電壓，提高開關(guān)的開態(tài)穩(wěn)定性和能量處理能力，1998年P(guān)achero設(shè)計了螺旋型懸臂式和大激勵極板的MEMS開關(guān)結(jié)構(gòu)。開關(guān)是微波信號變換的關(guān)鍵元件。和傳統(tǒng)的P-I-N二極管開關(guān)及FET 開關(guān)相比，由于消除了P-N結(jié)和金屬半導(dǎo)體結(jié)，MEMS開關(guān)具有以下優(yōu)點：
(1) 減小了歐姆接觸中的接觸電阻和擴(kuò)散電阻，顯著地降低了器件的歐姆損耗，高電導(dǎo)率金屬膜能以極低的損耗傳輸微波信號；
(2) 消除了由于半導(dǎo)體結(jié)引起的"para" label-module="para">
(3) RF MEMS開關(guān)靜電驅(qū)動僅需極低的瞬態(tài)能量，其典型值大約是10 nJ。當(dāng)然，MEMS開關(guān)微秒級的開關(guān)速度使他們無法應(yīng)用于高速領(lǐng)域。
由于沒有非線性，減少了開關(guān)諧波分量，提高了開關(guān)處理能力。因此，MEMS開關(guān)線性度佳、隔離度高;驅(qū)動功耗低；工作頻帶寬，截止頻率高(一般大于1 000 GHz)。MEMS開關(guān)主要采用靜電驅(qū)動，從其在電路中的應(yīng)用，可分成金屬-金屬接觸的電阻接觸串聯(lián)開關(guān)和金屬-絕緣-金屬接觸的電容耦合并聯(lián)開關(guān)。
相對于其他的MEMS器件及系統(tǒng)研究，射頻微電子機(jī)械系統(tǒng)(RF MEMS)是近年出現(xiàn)的新研究領(lǐng)域，所謂RF MEMS就是利用MEMS技術(shù)制作各種用于無線通訊的射頻器件或系統(tǒng)。RF MEMS包括應(yīng)用于無線通訊領(lǐng)域的各種無源器件如：高Q值諧振器、濾波器、RF MEMS開關(guān)、微型天線以及電感、電容等。
MEMS器件很快在射頻性能上超過固態(tài)電子器件，即使早期的MEMS器件在20GHz時的開態(tài)插入損耗也只有0.15dB，在相同頻率下的一個典型GaAs-FET或PIN二極管的插入損耗接近1dB。
在低于1GHz頻率的應(yīng)用情況中，固態(tài)電子開關(guān)仍然是首選。它們很便宜、低損耗、易于集成，應(yīng)用廣泛。固態(tài)電子開關(guān)在千兆赫茲以上時，損耗開始增加，并變得難于集成進(jìn)開關(guān)。這時候MEMS開關(guān)的優(yōu)勢就變得明顯起來。它們既沒有固態(tài)電子開關(guān)快，可靠性也不高，但它們在電氣性能上比固態(tài)電子開關(guān)更勝一籌。MEMS開關(guān)即使在40GHz時，插入損耗也很容易達(dá)到0.1dB。開關(guān)時間一般在幾十微秒，循環(huán)次數(shù)達(dá)到幾十億次。近年來，處理功率達(dá)到幾瓦的開關(guān)也已被報道。
| 比較參數(shù) |
RF MEMS開關(guān) |
PIN二極管 |
FET晶體管 |
| 電壓(V) |
20-80 |
3-5 |
|
| 電流(mA) |
0 |
0-20 |
0 |
| 功耗(mW) |
5-100 |
-0.5-0.1 |
|
| 開關(guān)時間 |
1-300微秒 |
1-100納秒 |
1-100納秒 |
| 串聯(lián)電容(fF) |
1-6 |
40-80 |
70-140 |
| 串聯(lián)電阻(Ω) |
0.5-2 |
2-4 |
4-6 |
| 10 |
N/A |
||
| 開關(guān)頻率(THz) |
20-80 |
1-4 |
0.5-2 |
| 隔離度(1-10GHz) |
非常高 |
高 |
中等 |
| 隔離度(10-40GHz) |
非常高 |
中等 |
低 |
| 隔離度(60-100GHz) |
高 |
中等 |
無 |
| 插入損耗(1-100GHz)(dB) |
0.05-0.2 |
0.3-1.2 |
0.4-2.5 |
| 功率處理(W) |
|||
| 三階交調(diào)截取(dBm) |
66-80 |
27-45 |
27-45 |
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