四探針電阻率/方阻測試儀

概述 四探針電阻率 / 方阻測試儀（以下簡稱電阻率測試儀）是用來測量半導體材料（主要是硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴散層、外延層、 ITO 導電箔膜、導電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份（簡稱：主機）、測試架及四探針頭組成。 本儀器的特點是主機配置雙數字表，在測量電阻率的同時，另一塊數字表（以萬分之幾的精度）適時監測全程的電流變化，免除了測量電流 / 測量電阻率的轉換，更及時掌控測量電流。主機還提供精度為 0.05% 的恒流源，使測量電流高度穩定。本機配有恒流源開關，在測量某些箔層材料時，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發生，更好地保護箔膜。儀器配置了本公司的專利產品： “ 小游移四探針頭 ” ，探針游移率在 0.1 ～ 0.2% 。保證了儀器測量電阻率的重復性和準確度。本機如加配 HQ-710E 數據處理器，測量硅片時可自動進行厚度、直徑、探針間距的修正，并計算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的最大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均習庋。給測量帶來很大方便。

（1）測量范圍： 可測電阻率： 0.0001 ～ 19000Ω·cm 可測方塊電阻： 0.001 ～ 1900Ω· □

（2）恒流源： 輸出電流： DC 0.001 ～ 100mA 五檔連續可調量程： 0.001 ～ 0.01mA 0.01 ～ 0.10mA 0.10 ～ 1.0mA 1.0 ～ 10mA 10 ～ 100mA 恒流精度：各檔均低于 ±0.05%

（3）直流數字電壓表： 測量范圍： 0 ～ 199.99mV 靈敏度： 10μV 基本誤差： ± （ 0.004% 讀數 0.01% 滿度） 輸出電源： ≥ 1000ΩM

（4）供電電源： AC 220V±10% 50/60 Hz 功率： 12W

（5）使用環境： 溫度： 23± 2℃ 相對濕度： ≤ 65% 無較強的電場干擾，無強光直接照射

（6）重量、體積： 主機重量： 7.5kg 體積： 365×380×160 （單位： mm 長度 × 寬度 × 高度）2100433B

對于半導體材料的電阻率，一般采用四探針、三探針和擴展電阻。

電阻率是反映半導體材料導電性能的重要參數之一。測量電阻率的方法很多，四探針法是一種廣泛采用的標準方法。它的優點是設備簡單、操作方便，精確度高，對樣品的形狀無嚴格要求。

最常用的是直線型四探針。四根探針的針尖在同一直線上，并且間距相等，都是S，一般采用0.5mm的間距，不同的探針間距需要對測量結果做相應的校正。

一般四探針電阻率（電導率）測試儀均已配置厚度的修正，通過厚度數值的設置，計算出不同的樣品厚度對電阻率的影響。

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