四探針法通常用來測量半導體的電阻率。四探針法測量電阻率有個非常大的優點，它不需要校準;有時用其它方法測量電阻率時還用四探針法校準。

與四探針法相比，傳統的二探針法更方便些，因為它只需要操作兩個探針，但是處理二探針法得到的數據卻很復雜。如圖一，電阻兩端有兩個探針接觸，每個接觸點既測量電阻兩端的電流值，也測量了電阻兩端的電壓值。我們希望確定所測量的電阻器的電阻值，總電阻值:

RT = V/I = 2RW + 2RC + RDUT;

其中RW是導線電阻，RC是接觸電阻，RDUT是所要測量的電阻器的電阻，顯然用這種方法不能確定RDUT的值。矯正的辦法就是使用四點接觸法，即四探針法。如圖二，電流的路徑與圖一中相同，但是測量電壓使用的是另外兩個接觸點。盡管電壓計測量的電壓也包含了導線電壓和接觸電壓，但由于電壓計的內阻很大，通過電壓計的電流非常小，因此，導線電壓與接觸電壓可以忽略不計，測量的電壓值基本上等于電阻器兩端的電壓值。

通過采用四探針法取代二探針法，盡管電流所走的路徑是一樣的，但由于消除掉了寄生壓降，使得測量變得精確了。四探針法在Lord Kelvin使用之后，變得十分普及，命名為四探針法。

數字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準

而設計的，專用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專

用儀器。儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測

量數據既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數據到

計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統計分析顯示測試結果。