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更新時間：2025.06.01
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超純水系統工藝及其施工 半 導體技術天地 i i \'m$t g v(I . 半導體技術天地 %m Q4A&W G o!h N v E 一、 超純水系統總體介紹 半導體 ,芯片 ,集成電路 ,設計 ,版圖 ,晶圓 ,制造 ,工藝 ,制程 ,封裝 ,測 試 ,wafer,chip,ic,design,eda,fabrication,process,layout,package,test,FA,RA,QA, photo,etch,implant,diffustion,lithography,fab,fabl 隨著電子工業的發展，在芯片的生產加工過程中，對于水質的要求也越來越高。為了保 證生產出超大規模的集成電路，除高純原材料、高純氣體、高純化學藥品外，高純水也是 其中最關鍵的因素之一。高純水系統是將一般的市政用水處理成對不同離子的含量和顆粒 度都有很高要求的超純水。 超純水系統總體來說一
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超純水系統 1 超純水系統 設 計 方 案 目 錄 一、設計條件及出水水質 3 超純水系統 2 二、設計基本資料 4 三、主要組件設備說明 5 四、工藝方案流程及說明 11 五、調試及售后服務內容 12 一、設計條件及出水水質 1.1 進水主要水質指標：東莞市自來水 1.2 用戶對出水要求： 出水量：超純水 9 噸/小時 出水水質：主機系統超純水：電阻率≥ 18MΩ.㎝@25℃； 出水溫度：常溫。 1.3 水質檢測：隨機自帶有電導率儀，出水電導率在線顯示。 超純水系統 3 1.4 設備最終產
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