磁驅動滑動弧放電裝置的磁路設計
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大氣壓磁驅動滑動弧放電能產生具有約束性能較好的非平衡等離子體 ,在微電子工業、環境工程等領域有廣泛的應用前景。利用磁導法對此裝置進行了磁路設計 ,得出了磁感應強度、磁體厚度、氣隙長度三者之間的解析表達式。所得出的結果與有限元分析結果進行了比較 ,偏差約為 3 1% ,但磁導法簡捷方便 ,通用性強 ,經濟性好 ,是一種更為可靠而實用的工程算法
滑動支座
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