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移相器簡(jiǎn)介兩個(gè)同頻信號(hào),特別是工頻信號(hào)之間的移相,在電力行業(yè)的繼電保護(hù)領(lǐng)域中是一個(gè)模擬、分析事故的重要手段。傳統(tǒng)的移相方式都是通過(guò)三相供電用特殊變壓器抽頭,以跨相的方法進(jìn)行移相,可統(tǒng)稱為電工式移相。
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文章編號(hào) ：1005-6122（2011）02-0084-04 五位 RF MEMS 開(kāi)關(guān)延遲線移相器 * 金 鈴 （南京電子技術(shù)研究所 ，南京 210013） 摘 要： 設(shè)計(jì)并研制了一種 6 ～11GHz、超寬帶 5 位 RF MEMS 開(kāi)關(guān)延遲線移相器 ，器件實(shí)現(xiàn)了 5 位延遲 ：λ、 2λ、4λ、8λ、16λ。該器件采用微帶混合介質(zhì)多層板技術(shù) ，分 4層制作 ，尺寸為 45mm×20 mm。整個(gè)器件包括 20個(gè) RF MEMS懸臂梁開(kāi)關(guān) ，用 60 ～75V 的靜電壓驅(qū)動(dòng) 。6 ～11GHz 頻帶內(nèi) ，對(duì) 32 個(gè)相移態(tài)的測(cè)試結(jié)果表明 ：一般回波損耗 S11 ＜－10dB，各狀態(tài)平均插入損耗為 －8 ～－10dB；中心頻率處 ，器件可實(shí)現(xiàn)的最大延遲位時(shí)延為 1680ps，總時(shí)延為 3255ps。 關(guān)鍵詞 ： 開(kāi)關(guān)延遲線移相器 ，微機(jī)電系統(tǒng) （MEMS），懸臂梁開(kāi)關(guān) ，微波混合介質(zhì)多層
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