沉積材料：Al2O3、ZnO 工藝溫度：最高500℃ 樣品尺寸：4英寸向下兼容 沉積速率： Al2O3 10nm/125cycle ZnO 20nm/125cycle。

主要功能：用于沉積單原子層超薄膜的氣相沉積設備。通過精確控制媒質的流量以及使用清除媒質，保證了一次只沉積一層指定要求的單原子層超薄膜。

地表的巖石，經風化、剝蝕成巖屑，又經搬運、沉積而形成的沉積物；在沉積物未壓緊硬結成巖石之前，呈現的松散狀態，稱為沉積層，即“土”。

沉積層也可以指惰性膜沉積在石英砂粒外圍的物質。沉積層有細粒物質、死粘土和灰分，牢固地聚集在砂粒上形成一層不平的外表層，使砂粒流動性能降低，型砂傳遞能量的效率減小，砂型緊實度不勻。沉積層比重比石英比重(2.65)要小。故型砂中沉積層的積累是否已經超過規定極限，可以從型砂試驗的變化中看出來。沉積層不但裹附在砂粒上，同時也在煤粉分解物的焦粒上出現。沉積層使型砂水分需要量增加，燒結點降低，鑄件粘砂。

世界大洋整體或其各大區沉積層的最主要特點只在為數不多的著作中曾加論述。л.З.列文和B.E.哈茵最先嘗試建立世界大洋沉積一火山巖系厚度分布及地層體積示意圖。從示意圖可以看出，沉積層的特點是：厚度和產狀的分布極為復雜，地層范圍和建造組成變化多端，而古生代后沉積占優勢。只是在太平洋底，平緩產出的沉積物才以薄蓋層覆蓋洋殼“玄武巖層”。在世界大洋的其余部分，沉積物充填形成于聯合古陸地殼不同演化階段的不同成因類型沉積盆地。這些盆地屬于五種基本構造類型：地槽凹陷，次生地槽山間凹陷，造山期山間凹陷，克拉通邊緣拗陷，大洋邊緣拗陷。

地槽凹陷、造山期凹陷、克拉通邊緣拗陷以及許多次生地槽凹陷都與太平洋活動帶和地中海活動帶的邊緣海及內海有聯系。環繞太平洋(島弧)、印度洋、大西洋和北冰洋以及南極洲分布的，或為成因屬于海濱地槽的大洋邊緣拗陷，或為介于典型大洋邊緣拗陷和克拉通邊緣拗陷之間的過渡亞類型。后者見于北冰洋和南極洲的邊緣。

與地殼演化的總進程相適應，在世界大洋的不同地區沉積層的厚度及其地層體積也是各不相同的。

沉積層根據其形成原因，地點，成分等主要可分為以下類型：

①湖泊的沉積層

湖泊有淡水湖和咸水湖之分。淡水湖的湖岸地區的沉積物，主要以礫石、砂土或輕亞粘土為主；在湖心地區，主要以粘性土和淤泥為主；湖岸一般地質條件較好，但是為了環境保護，不宜在湖建廠。成水湖的沉積物，以石膏，巖鹽及碳酸鹽類為主，巖層性質復雜，在沉積物中夾有淤泥層，地基條件很差。

②沼澤沉積層

沼澤沉積層主要是以腐朽植物的殘余堆積而成，有的有明顯的植物纖維，一般它是由淤泥和淤泥土質以及部分粘土和細砂組成，它具有不規則的層理泥炭的有機物質含量達60%以上，泥炭的含水量達100%以上，壓縮性很大，選廠時應避開它。若避不開時，就要加強排水措施，或挖去泥炭層、或打樁到堅硬基層上。總之要查明情況，采取措施。

③海相沉積層

海洋一般分為四個區帶：海岸帶，水深為0至20米，是海水高低潮之間的地帶；大陸架即淺海帶，水深為20至200米；大陸坡次深海帶，水深為200至3000米；深海帶，水深為3000至6000米。很久以前不少國家已經在利用海岸帶建廠，所以在此主要介紹海岸帶的沉積層。海岸帶的沉積物，主要是粗碎屑及砂組成，粗碎屑物的厚度不大，具有交錯層理，物質純潔而均勻，較緊密，但是在河流人海口處，常有淤泥沉積。海岸帶的沉積物，在垂直和水平方向變化較大，在勘探時要求探點布置密些。

海岸的穩定性也要特別注意，海浪沖擊海岸要求巖石堅硬、巖層坡度平緩，最好是水平，若巖層坡度大或者成垂直，就容易產生滑坡和崩塌。為了使海岸不受海浪沖擊，可作突堤、防浪堤和海塘等。 2100433B