硅電容式壓力傳感器
《硅電容式壓力傳感器》是2013年2月15日實施的一項中國國家標準。
硅電容式壓力傳感器基本信息
| 中文名 | 硅電容式壓力傳感器 | 外文名 | Silicon capacitive pressure sensor |
|---|---|---|---|
| 標準類別 | 產品 | 標準號 | GB/T 28854-2012 |
主要起草單位：沈陽儀表科學研究院、傳感器國家工程研究中心、國家儀器儀表元器件質量監督檢驗中心、浙江中控儀表有限公司等。
主要起草人： 張治國、劉沁、李穎、匡石、徐秋玲等。
硅電容式壓力傳感器造價信息
2012年11月5日，《硅電容式壓力傳感器》發布。
2013年2月15日，《硅電容式壓力傳感器》實施。
硅電容式壓力傳感器常見問題
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把被測的機械量，如位移、壓力等轉換為電容量變化的傳感器。它的敏感部分就是具有可變參數的電容器。其最常用的形式是由兩個平行電極組成、極間以空氣為介質的電容器（見圖）。若忽略邊緣效應，平板電容器的電容為ε...
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差動電容式傳感器因其帶電極板間的靜電引力很小，所需輸入力和輸入能量極小，因而可測極低的壓力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很靈敏，分辨力高，能敏感0.01μm 甚至更小的位移；由于其空氣...
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一般采用圓形金屬薄膜或鍍金屬薄膜作為電容器的一個電極，當薄膜感受壓力而變形時，薄膜與固定電極之間形成的電容量發生變化，通過測量電路即可輸出與電壓成一定關系的電信號。
硅電容式壓力傳感器文獻
車用新型陶瓷電容式壓力傳感器
格式：pdf
大小：2.1MB
頁數： 未知
評分： 4.7
壓力傳感器是車輛電子控制裝置獲得壓力信息的主要元件之一,文章通過對電容式壓力傳感器基本原理的分析,闡述在電容敏感材料變為陶瓷時,其性能、特點、精度及相應的信號處理,使其在低成本的基礎上,廣泛地應用于社會的各個領域。
它一般采用圓形金屬薄膜或鍍金屬薄膜作為電容器的一個電極，當薄膜感受壓力而變形時，薄膜與固定電極之間形成的電容量發生變化，通過測量電路即可輸出與電壓成一定關系的電信號。電容式壓力傳感器屬于極距變化型電容式傳感器，可分為單電容式壓力傳感器和差動電容式壓力傳感器 。
它的受壓膜片電極位于兩個固定電極之間,構成兩個電容器。在壓力的作用下一個電容器的容量增大而另一個則相應減小，測量結果由差動式電路輸出。它的固定電極是在凹曲的玻璃表面上鍍金屬層而制成。過載時膜片受到凹面的保護而不致破裂。差動電容式壓力傳感器比單電容式的靈敏度高、線性度好，但加工較困難（特別是難以保證對稱性），而且不能實現對被測氣體或液體的隔離，因此不宜于工作在有腐蝕性或雜質的流體中 。
電容式壓力傳感器類型
單電容式壓力傳感器
它由圓形薄膜與固定電極構成。薄膜在壓力的作用下變形，從而改變電容器的容量，其靈敏度大致與薄膜的面積和壓力成正比而與薄膜的張力和薄膜到固定電極的距離成反比。另一種型式的固定電極取凹形球面狀，膜片為周邊固定的張緊平面，膜片可用塑料鍍金屬層的方法制成。這種型式適于測量低壓，并有較高過載能力。還可以采用帶活塞動極膜片制成測量高壓的單電容式壓力傳感器。這種型式可減小膜片的直接受壓面積，以便采用較薄的膜片提高靈敏度。它還與各種補償和保護部以及放大電路整體封裝在一起，以便提高抗干擾能力。這種傳感器適于測量動態高壓和對飛行器進行遙測。單電容式壓力傳感器還有傳聲器式(即話筒式)和聽診器式等型式。
差動電容式壓力傳感器
它的受壓膜片電極位于兩個固定電極之間,構成兩個電容器。在壓力的作用下一個電容器的容量增大而另一個則相應減小，測量結果由差動式電路輸出。它的固定電極是在凹曲的玻璃表面上鍍金屬層而制成。過載時膜片受到凹面的保護而不致破裂。差動電容式壓力傳感器比單電容式的靈敏度高、線性度好，但加工較困難(特別是難以保證對稱性)，而且不能實現對被測氣體或液體的隔離，因此不宜于工作在有腐蝕性或雜質的流體中。
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