硅諧振式壓力傳感器的研究
《硅諧振式壓力傳感器的研究》是依托哈爾濱工業大學，由虞擔任項目負責人的面上項目。
硅諧振式壓力傳感器的研究基本信息
| 中文名 | 硅諧振式壓力傳感器的研究 | 依托單位 | 哈爾濱工業大學 |
|---|---|---|---|
| 項目類別 | 面上項目 | 項目負責人 | 虞 |
諧振式傳感器具有穩定性好，精度高、與微機接口方便等特點而倍受重視。我們采用微機械加工技術研制了微諧振器和諧振式壓力傳感器。其特點是用單晶硅梁做諧振器、梁厚僅數微米，用靜電激勵。其振動頻率取決于器件設計、材料性能和梁的軸向應力，并受外界壓力調制。研究工作包括器件設計；激振與拾振技術；關鍵工藝包括硅健合，薄梁制備技術和封裝技術，并對樣品進行了分析測試 。研究表明，用兩端固支梁理論分析微諧振梁作為一階近似是可行的。單晶梁的工藝難度大，但工藝上仍可行。傳感器固有頻率穩定；一般在一百千赫以上，空氣中品質因數達數百；靈敏度高，當壓力電O升到O·1MPa時，頻移達十幾千赫，是一種有前途的新型傳感器。 2100433B
硅諧振式壓力傳感器的研究造價信息
| 批準號 |
69376028 |
| 項目名稱 |
硅諧振式壓力傳感器的研究 |
| 項目類別 |
面上項目 |
| 申請代碼 |
F0404 |
| 項目負責人 |
虞 |
| 負責人職稱 |
教授 |
| 依托單位 |
哈爾濱工業大學 |
| 研究期限 |
1994-01-01 至 1995-12-31 |
| 支持經費 |
5（萬元） |
硅諧振式壓力傳感器的研究常見問題
硅諧振式壓力傳感器的研究文獻
簡介
利用諧振元件把被測壓力轉換成頻率信號的壓力傳感器。它是諧振式傳感器的重要應用方面，主要有振弦式壓力傳感器（見振弦式傳感器）、振筒式壓力傳感器（見振筒式傳感器）、振膜式壓力傳感器（見振膜式傳感器）和石英晶體諧振式壓力傳感器（見石英晶體諧振式傳感器）。
為進一步改善聲表面波無線壓力傳感器準確度、量程和溫度穩定性等性能，利用石英基片上表面橫向模式壓力靈敏度高，諧振器加載Q值高和插損低的特點，設計用于智能輪胎的高準確度諧振式壓力傳感器。采用分布間隙打嗝結構，解決表面橫向模式諧振器電學特性受工藝誤差影響大這個制約表面橫向模式壓力傳感器實用化的關鍵問題。采用頂針- - 懸臂梁結構提高傳感器靈敏度和量程。通過選擇零溫度系數切向、差動補償和優化傳感器結構三種措施解決由于傳感器封裝的彈性體材料與石英的熱膨脹系數不同造成預應力變化而引起的頻率變化，實現-40℃-150℃寬溫度范圍內的溫度漂移補償。 2100433B
| 批準號 |
60774052 |
| 項目名稱 |
表面橫向模諧振式無線壓力傳感器的研究 |
| 項目類別 |
面上項目 |
| 申請代碼 |
F0306 |
| 項目負責人 |
韓韜 |
| 負責人職稱 |
教授 |
| 依托單位 |
上海交通大學 |
| 研究期限 |
2008-01-01 至 2010-12-31 |
| 支持經費 |
25（萬元） |
硅諧振式壓力傳感器的研究相關推薦
- 相關百科
- 相關知識
- 相關專欄
- 硅谷成功的經驗
- 硅酮結構密封膠中烷烴增塑劑檢測方法
- 硅酸鹽材料
- 硅酸鹽正極材料充放電過程結構演化的動力學模擬研究
- 硅酸礦
- 硅酸鋁纖維氈
- 硅鋼片沖壓工藝導則
- 硅鋼片剪切工藝導則
- 硅鐵破碎機
- 硅鋁鐵
- 硅錠
- 硅錳合金
- 硐室圍巖
- 硐室掘進
- 硐室支護
- 碩一魔動450
- 基于壓電堆驅動器的噴嘴擋板式氣體控制閥
- 磷銨技術改造五大磷肥工程的建議
- 以大豆油多元醇制備的硬質聚氨酯泡沫塑料的性能
- 逆變TIG焊機接觸引弧電路的設計(引弧電路)
- 應用模糊數學理論對公路工程建設項目方案的綜合評價
- 可替代現有隔熱保溫材料的新型材料
- 以貫穿項目為核心載體的建筑工程技術專業素材庫建設
- 中國被動式太陽房及太陽能建筑市場監測及發展策略研
- 多逆變器太陽能光伏并網發電系統的組群控制方法
- 影響萘高效減水劑與普通硅酸鹽水泥適應性的關鍵因素
- 在全縣非煤礦山和危化企業安全生產工作會議上的講話
- 中國工程造價咨詢業的發展趨勢
- 支持并行工程和智能CAPP的制造資源建模技術
- 中共重慶市委重慶市人民政府關于建設平安重慶的決定
- 智能建筑工程報警與電視監控系統前端設備的安裝施工
- 在“建筑節能與居住舒適”專題技術交流會議上的講話
最新詞條
安徽省政采項目管理咨詢有限公司
數字景楓科技發展（南京）有限公司
懷化市人民政府電子政務管理辦公室
河北省高速公路京德臨時籌建處
中石化華東石油工程有限公司工程技術分公司
手持無線POS機
廣東合正采購招標有限公司
上海城建信息科技有限公司
甘肅鑫禾國際招標有限公司
燒結金屬材料
齒輪計量泵
廣州采陽招標代理有限公司河源分公司
高鋁碳化硅磚
博洛尼智能科技（青島）有限公司
燒結剛玉磚
深圳市東海國際招標有限公司
搭建香蕉育苗大棚
SF計量單位
福建省中億通招標咨詢有限公司
泛海三江
威海鼠尾草
廣東國咨招標有限公司
Excel 數據處理與分析應用大全
甘肅中泰博瑞工程項目管理咨詢有限公司
拆邊機
山東創盈項目管理有限公司
當代建筑大師
廣西北纜電纜有限公司
大山檳榔
上海地鐵維護保障有限公司通號分公司
舌花雛菊
甘肅中維國際招標有限公司
華潤燃氣（上海）有限公司
湖北鑫宇陽光工程咨詢有限公司
GB8163標準無縫鋼管
中國石油煉化工程建設項目部
韶關市優采招標代理有限公司
莎草目
建設部關于開展城市規劃動態監測工作的通知
電梯平層準確度
廣州利好來電氣有限公司
蘇州弘創招投標代理有限公司