本設備主要制備大尺寸單晶材料。由爐膛、真空獲得及測量系統、籽晶桿拉送系統、坩堝桿拉送系統、感應加熱系統、電控系統等組成。 2100433B
極限真空可達8×10-5Pa。
DEH系統主要功能: 汽輪機轉速控制;自動同期控制;負荷控制;參與一次調頻;機、爐協調控制;快速減負荷;主汽壓控制;單閥控制、多閥解耦控制;閥門試驗;輪機程控啟動;OPC控制;甩負荷及失磁工況控制;...
⒈保水.保水劑不溶于水,但能吸收相當自身重量成百倍的水.保水劑可有效抑制水分蒸發.土壤中滲入保水劑后,在很大程度上抑制了水分蒸發,提高了土壤飽和含水量,降低了土壤的飽和導水率,從而減緩了土壤釋放水的速...
變頻器的作用是改變交流電機供電的頻率和幅值,因而改變其運動磁場的周期,達到平滑控制電動機轉速的目的。變頻器的出現,使得復雜的調速控制簡單化,用變頻器+交流鼠籠式感應電動機組合替代了大部分原先只能用直流...
格式:pdf
大小:11KB
頁數: 1頁
評分: 4.5
道閘 主要功能: 功能一,手動按鈕可作 ‘升’‘降’及‘停’操作、無線遙控可作 ‘升’‘降’‘停’及對手動按鈕的 ‘加鎖’‘解鎖 ’操作 ; 功能二,停電自動解鎖,停電后可手動抬桿 ; 功能三,具有便于維護與調試的 ‘自檢模式 ’; 道閘 道閘又稱擋車器,最初從國外引進,英文名叫 Barrier Gate ,是專門用于道路上限 制機動車行駛的通道出入口管理設備 ,現廣泛應用于公路收費站、 停車場系統 管理車 輛通道,用于管理車輛的出入。電動道閘可單獨通過無線遙控實現起落桿,也可以通過 停車場管理系統 (即 IC 刷卡管理系統)實行自動管理狀態,入場取卡放行車輛,出場 時,收取 停車費 后自動放行車輛。
格式:pdf
大小:11KB
頁數: 3頁
評分: 4.8
空調器主要功能及技術參數 1.空調器一般都具有如下功能: (1)調節室內溫度 一般情況下,人們居住或工作的環境, 與外界的溫差如能保持在 5℃左右是比較適宜的。 若溫差過大,每當受到“熱沖擊”或“冷沖擊”時,都會使人感到不舒服。 因此,對大多數 人來說,空調房間夏季保持在 24- 28℃、冬季保持在 18- 20℃是比較理想的。 (2)調節室內濕度 在過于潮濕或干燥的空氣環境中,人們會感到不舒服,適合人們需要的相對濕度是在 40-70%的范圍內。 空調器的濕度調節, 是通過增加或減少空氣中的潛熱來實現的, 夏季降溫 除濕,冬季升溫加濕。 (3)調節室內氣流速度 人們處在適當低速流動的空氣中要比處在靜止的空氣中感覺良好。 (4)凈化室內空氣 空氣中一般都有懸浮狀態的固體或液體微粒,它們很容易隨著人們的呼吸進入氣管、 肺等器官,沾附在其上面,這些微塵還常常帶有細菌,傳染各種疾病,因此,無論是室
隨著大直徑、重摻雜等特殊要求的硅單晶需求量的增加,對單晶爐設備的要求也越來越高,將旋片真空泵應用在單晶爐設備上,提高了單晶爐的整體性能。
單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備。
單晶爐主要需要控制的方面
一、晶體直徑(尺寸)
二、溫度(功率控制)
三、原料(硅料)
四、泄漏率,氬氣質量等
由于硅單晶生長過程比較漫長,特別是大直徑的硅單晶生長時間更長,隨著時間的增加,真空泵油里的雜質也越積越多,從而使真空泵油的黏稠度也越來越大,導致旋片真空泵負荷增大,抽速下降,因此需要定期更換真空泵油。
旋片真空泵在單晶爐上的應用的好處是,維持正常的抽速,保證爐膛內的真空度穩定,排出的水經過處理還可以重復使用,這樣不但維護方便而且費用低,特別是拉重摻砷等劇毒摻雜元素的硅單晶時,砷等劇毒摻雜元素融入水中后比較容易被分離收集,減少對環境的影響。同時也能取得很好的經濟和社會效益。
旋片式真空泵的產品介紹:
單級旋片式真空泵均為單級油封式旋片真空泵,是獲得真空的基本設備,工作原理如圖1所示。
單級旋片式真空泵吸氣口安裝有金屬絲網的粗過濾器。能防止固體的外來塵粒吸入泵腔。油分離器內安裝有高效油氣分離效果的排氣過渡器。停泵時,內置于吸氣口的吸氣閥使泵與被抽系統隔離,防止泵油返入被抽系統。泵由空氣冷卻。所有的泵均由直聯的電動機通過彈性聯軸器驅動。
單級旋片式真空泵適用范圍:
1、單級旋片式真空泵適用于密閉系統的抽真空使用。如真空包裝、真空成形、真空吸引。
2、入口壓力范圍:100Pa~100000 Pa,超出此范圍工作真空泵排氣口將有油霧產生。單級旋片式真空泵工作環境溫度和吸入氣體溫度應在5℃~40℃之間。
3、單級旋片式真空泵不能抽除水或其它液體。不能抽除易爆、易燃、含氧量過高的、腐蝕性的氣體。
4、一般供應的電動機不防爆,如要求防爆或其它特殊要求時電動機必須符合相關的標準。
了解更多旋片真空泵歡迎點擊下面“普旭真空泵,萊寶真空泵”進去網站了解,謝謝!
單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備。
購買技術主要要求
1.單晶爐裝料量(單臺機產能多少) 2. 能拉多長、幾寸的硅棒 3. 拉制晶棒的成品率是多少4拉出硅棒品質(少子壽命、電阻率、碳氧含量、位錯密度) 5設備制造工藝控制保證 6自動化控制程度 7設備主要關鍵部件的配置等 。
單晶爐型號定義
單晶爐型號有兩種命名方式,一種為投料量,一種為爐室直徑。比如85爐,是指主爐筒的直徑大小,120、150等型號是由裝料量來決定的
單晶爐主要需要控制的方面
一、晶體直徑(尺寸)
二、溫度(功率控制)
三、原料(硅料)
四、泄漏率,氬氣質量等
本文由rxl提供,歡迎大家完善
單晶爐熱場的設計與仿真
單晶直徑在生長過程中可受到溫度,提拉速度與轉速,坩堝跟蹤速度與轉速,保護氣體的流速等因素的影響。其中溫度主要決定能否成晶,而速度將直接影響到晶體的內在質量,而這種影響卻只能在單晶拉出后通過檢測才能獲知。溫度分布合適的熱場,不僅單晶生長順利,而且品質較高;如果熱場的溫度分布不是很合理,生長單晶的過程中容易產生各種缺陷,影響質量,情況嚴重的出現變晶現象生長不出來單晶。因此在投資單晶生長企業的前期,一定要根據生長設備,配置出最合理的熱場,從而保證生產出來的單晶的品質。在晶體生長分析與設計中,實驗與數值仿真是相輔相成的,其過程可以分為兩個部分:
(1)在第一階段,利用引上法晶體生長實驗來進行數值模擬參數的調整。
(2)在第二階段,利用數值模擬是用來確定最佳的晶體生長工藝參數。
數值仿真是用來獲得廉價的,完整的和全面細節的結晶過程,以此方法用來預測晶體生長,改善晶體生長技術。數值模擬是當實驗的費用太昂貴或無法常規進行時一種非常有用或必不可少的方法。舉例來說,對于無經驗人員,可以形象化展示熔體流動的歷史點缺陷和熱應力細節。所以數值仿真是一種達到較高生產率和較好滿足市場對晶體直徑,質量要求的最好辦法。面向過程的仿真軟件FEMAG為用戶提供了可以深入研究的數值工具,用戶通過有效的計算機模擬可以設計和優化工作流程。通過對單晶爐熱場的仿真計算,優化設計單晶爐的機械結構,在拉晶過程中以仿真結果設定合理的理論拉晶曲線,就可以在實際生產中是完全可以生長出合格的單晶棒。
單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備。