空氣通過(guò)高效過(guò)濾后，阻尼層均壓，使?jié)崈舻目諝鈿饬鞔怪眴蜗蛩腿胙b片工作區(qū)，從而保證了工作區(qū)內(nèi)達(dá)到工藝要求的潔凈度，操作人員在潔凈的環(huán)境中往石墨舟上裝硅片。

石墨舟裝片房是用于太陽(yáng)能行業(yè)與PECVD承載車配套、裝取硅片、配制中效及高效過(guò)濾器，確保吹出的空氣達(dá)到凈化要求。

1、能準(zhǔn)確的使石墨舟承載裝片車定位；

2、采用不銹鋼制造，整機(jī)結(jié)構(gòu)堅(jiān)固可靠；

3、采用GK系列高效空氣過(guò)濾器3只；

4、PECVD承載車在里面可傾斜15度或旋轉(zhuǎn)180度；

5、凈化風(fēng)機(jī)噪音小于50dB。

6、保證了工作區(qū)內(nèi)達(dá)到工藝要求的潔凈度100級(jí)。

薄型石墨舟皿，包括單面布置有如干載棒槽W的舟皿體、墊塊和帶有一定錐度的定位銷，舟皿體平行載棒槽W的兩端分別開(kāi)有凹槽，墊塊下端凸臺(tái)與凹槽配合，定位銷穿過(guò)凹槽中間的定位孔和墊塊下端凸臺(tái)中間的定位孔；載棒槽W的底部到舟皿體的底面的距離、頂部到舟皿體的底部臺(tái)面的距離、墊塊頂面到其上凸臺(tái)面的距離、墊塊與舟皿體配合后的其頂面到舟皿體底部臺(tái)面的距離分別為2.0-8毫米、3-16毫米、3.8-12毫米、6.8-28毫米；載棒槽W的槽間距、槽底寬、槽高、夾角分別為2.6-12.4毫米、0.2-3毫米、1.2-9毫米、50°-60°；本實(shí)用新型既提高燒結(jié)爐單爐產(chǎn)量，延長(zhǎng)舟皿的實(shí)際使用壽命，又節(jié)約舟皿材料。

[2]專利之家2100433B

一種槽型石墨舟皿，包括若干條具有相對(duì)的兩槽面和和底部支撐凸起的W型雙向斜槽、底面、上端面、內(nèi)側(cè)面、外側(cè)面和與上端面相對(duì)的止口，其特征在于：所述相對(duì)的兩槽面和上分別設(shè)計(jì)有至少一條排氣通槽，所述底部支撐凸起與所述相對(duì)的兩槽面和的相交處分別設(shè)計(jì)有一條棱角保護(hù)槽。

詳細(xì)描述：

主要特點(diǎn)：

1、工作區(qū)內(nèi)為全不銹鋼結(jié)構(gòu)，光亮清潔；

2、整個(gè)石墨舟保管柜采用不銹鋼304制作，保證整個(gè)設(shè)備堅(jiān)固可靠。