1、能準確的使石墨舟承載裝片車定位；

2、采用不銹鋼制造，整機結構堅固可靠；

3、采用GK系列高效空氣過濾器3只；

4、PECVD承載車在里面可傾斜15度或旋轉180度；

5、凈化風機噪音小于50dB。

6、保證了工作區內達到工藝要求的潔凈度100級。

空氣通過高效過濾后，阻尼層均壓，使潔凈的空氣氣流垂直單向送入裝片工作區，從而保證了工作區內達到工藝要求的潔凈度，操作人員在潔凈的環境中往石墨舟上裝硅片。

石墨舟裝片房是用于太陽能行業與PECVD承載車配套、裝取硅片、配制中效及高效過濾器，確保吹出的空氣達到凈化要求。

薄型石墨舟皿，包括單面布置有如干載棒槽W的舟皿體、墊塊和帶有一定錐度的定位銷，舟皿體平行載棒槽W的兩端分別開有凹槽，墊塊下端凸臺與凹槽配合，定位銷穿過凹槽中間的定位孔和墊塊下端凸臺中間的定位孔；載棒槽W的底部到舟皿體的底面的距離、頂部到舟皿體的底部臺面的距離、墊塊頂面到其上凸臺面的距離、墊塊與舟皿體配合后的其頂面到舟皿體底部臺面的距離分別為2.0-8毫米、3-16毫米、3.8-12毫米、6.8-28毫米；載棒槽W的槽間距、槽底寬、槽高、夾角分別為2.6-12.4毫米、0.2-3毫米、1.2-9毫米、50°-60°；本實用新型既提高燒結爐單爐產量，延長舟皿的實際使用壽命，又節約舟皿材料。

[2]專利之家2100433B

一種槽型石墨舟皿，包括若干條具有相對的兩槽面和和底部支撐凸起的W型雙向斜槽、底面、上端面、內側面、外側面和與上端面相對的止口，其特征在于：所述相對的兩槽面和上分別設計有至少一條排氣通槽，所述底部支撐凸起與所述相對的兩槽面和的相交處分別設計有一條棱角保護槽。

詳細描述：

主要特點：

1、工作區內為全不銹鋼結構，光亮清潔；

2、整個石墨舟保管柜采用不銹鋼304制作，保證整個設備堅固可靠。